Патент № 2664009. Распылительный блок магнетрона для осаждения пленок твердых растворов FexTi(1-x)O2 в диапазоне от 0<x<0,6

Авторы

Шаповалов Виктор Иванович, профессор каф. ФЭТ, д.т.н.;  Смирнов Владислав Юрьевич, студент каф. ФЭТ; Минжулина Екатерина Андреевна, студентка каф. ФЭТ; Козин Александр Андреевич, студент каф. ФЭТ

Описание 

Настоящий патент описывает частный случай нового класса технологических магнетронов с распыляемым узлом, который получил название сэндвич–мишень. Узел содержит две мишени из разных металлов, расположенных на одной оси (рис.). Внутренняя мишень 1 распыляется через прорези во внешней мишени 2 и может работать в горячем или холодном режиме. Внешняя мишень установлена на расстоянии 1 мм от внутренней и работает только в горячем режиме. Достигаемым техническим результатом является увеличению однородности пленок по химическому составу по всей площади подложки.

Магнетрон с сэндвич-мишенью позволяет осаждать пленки бинарных сплавов. Для этого процесс проводят в среде аргона. Концентрациями компонентов в сплаве управляют, изменяя суммарную площадь прорезей.

Для изготовления пленок бинарных твердых растворов простых соединений сэндвич–мишень распыляют в смеси газов, содержащей аргон и кислород или азот или оба эти газа.

Настоящий патент описывает распылительный блок магнетрона с внутренней мишенью, выполненной из железа, внешней – из титана. Магнетрон, оснащенный этим блоком и работающий в среде, содержащей кислород, позволяет синтезировать пленки твердых растворов оксидов железа и титана. Пленки предназначены для фотокаталитического разложения органических загрязнений воды и воздуха. Химическим составом этого раствора можно управлять, варьируя суммарную площадь прорезей.

Технический результат

Патент на сайте Федерального института промышленной собственности