Патент № 2643851. Способ получения интерметаллического антиэмиссионного покрытия

Авторы

Лисенков Александр Аркадьевич, профессор каф. ЭПУ; Кострин Дмитрий Константинович, доцент каф. ЭПУ; Киселев Александр Сергеевич, аспирант каф. ЭПУ; Семёнова Ангелина Николаевна, студентка каф. ЭПУ 

Описание

Изобретение относится к области нанесения покрытий и может быть использовано для формирования интерметаллического антиэмиссионного покрытия на сеточных электродах мощных генераторных ламп с вольфрамовым торированным карбидированным катодом и уровнем выходной мощности свыше 10 кВт.

Решение, предлагаемое в патенте, направлено для получения антиэмиссионного интерметаллического покрытия высокого качества, что достигается за счет предварительного послойного осаждения наноразмерных многослоевых покрытий переменного состава, состоящих из последовательно напыленных слоев циркония (Zr), карбида циркония переменного состава (ZrC1–x) и карбида циркония с избыточным содержанием углеродной фазы (ZrC + C), в которых, при изменяющемся распределении концентрации углерода по толщине, количество осаждаемого циркония остается постоянным (Iраз = const, Uсм = const); причем пары бензола подают с помощью натекателя за один импульс, обеспечивающий изменение давления в заданных пределах.

При химико-термической обработке в вакууме, в покрытии, состоящем из системы нанослоев переменного состава, за счет диффузионных процессов из зон, насыщенных углеродом, в слои с преобладанием свободного циркония, протекает химическая реакция с образованием карбида циркония высокого качества, что позволяет далее получить интерметаллид с заданными свойствами.

Патент на сайте Федерального института промышленной собственности