«Залог развития современной микроэлектроники»: в ЛЭТИ прошла 31-я конференция по вакуумной технике

«Залог развития современной микроэлектроники»: в ЛЭТИ прошла 31-я конференция по вакуумной технике

В 2024 году мероприятие посетило рекордное количество делегатов – более 160 участников из России и стран ближнего зарубежья.

04.07.2024 1014

С 25 по 27 июня 2024 года на базе Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета «ЛЭТИ» проходила 31-я Всероссийская научно-техническая конференция с международным участием «Вакуумная техника и технологии – 2024».

Работа конференции была посвящена обсуждению новейших достижений в физике вакуума и газового разряда при низком давлении, технике получения вакуума, измерении давления и контроле герметичности, методах осаждения пленок и обработки поверхности, создании перспективных материалов. С приветственным словом на пленарном заседании конференции выступил проректор по научной и инновационной деятельности СПбГЭТУ «ЛЭТИ» Александр Анатольевич Семенов.

«Сегодня все мы понимаем, что вакуумная техника и технологии во многом – это залог развития ведущих отраслей современной микроэлектроники. Это доказывает тот факт, что наша конференция по количеству проведений уверенно перешагнула четвертый десяток, а ее секции охватывают чрезвычайно важные научные и технологические направления. Очень приятно, что конференция проходит именно в нашем университете, который осуществляет самый большой набор и выпуск специалистов в области электроники и электротехники в стране: порядка 300 человек в бакалавриате и 150 человек в магистратуре».

Проректор по научной и инновационной деятельности СПбГЭТУ «ЛЭТИ» Александр Анатольевич Семенов

В ходе пленарного заседания председатель Российского вакуумного общества (г. Москва) Сергей Борисович Нестеров рассказал об итогах 18-й международной выставки вакуумного и криогенного оборудования VacuumTechExpo. Генеральный директор АО «Вакууммаш» Евгений Николаевич Капустин выступил с программным докладом «Нужно ли России своё вакуумное машиностроение?».

Выступление руководителя лаборатории ВНИИМ им. Д. И. Менделеева Александра Александровича Чернышенко было посвящено роли вакуумных измерений в системе метрологического обеспечения России. Директор Института проблем машиноведения РАН Владимир Анатольевич Полянский доложил о вакуумных технологиях, которые сегодня используются для измерений состава вещества. 

Профессор кафедры физики плазмы НИЯУ МИФИ Леон Богданович Беграмбеков рассказал о модификации поверхностей и приповерхностных слоев с помощью ионно-плазменного облучения, а один из руководителей НПО «Измеритель» Юрий Владимирович Мыкалов – про современные установки контроля герметичности, производимые на этом предприятии. Пленарное заседание завершилось докладом ведущего сотрудника ООО «ЕМС» Сергея Сергеевича Грищенко о разработке и серийном выпуске вакуумных клапанов с сильфонным уплотнением.

В рамках секционных заседаний конференции участники представили результаты исследований в области физики вакуума, конструирования элементов вакуумных систем, контроля герметичности, создания перспективных материалов и покрытий, поиска и локализации дефектов в конструкции изделий. 

Для участников конференции были организованы экскурсии на предприятия НПО «Измеритель» и ООО «EMC». Кроме того, в рамках культурной программы впервые на конференции по окончании второго дня работы  был организован концерт Sankt-Petersburg Specialists.

Организаторами конференции выступили Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ», Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева, Институт проблем машиноведения РАН, Российское ваккумное общество имени академика С.А. Векшинского,  Евро-Азиатская кооперация национальных метрологических институтов (Euro-Asian Cooperation of National Metrology Institutions, KOOMET); при информационной поддержке Министерства промышленности и торговли России и Федерального агентства по техническому регулированию метрологии.