Креативные российские технологии в области микроэлектроники – для японского оборудования

Креативные российские технологии в области микроэлектроники – для японского оборудования

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина) подписал Меморандум о сотрудничестве с ООО «Токио Боэки (РУС)» (Япония), подразумевающий реализацию совместных научных, образовательных и коммерческих проектов в области микроэлектроники.

22.05.2019 241

В рабочей встрече, которая состоялась 17 мая 2019 года, со стороны СПбГЭТУ «ЛЭТИ» принимали участие ректор Виктор Николаевич Шелудько, проректор по международной деятельности Анастасия Андреевна Минина, проректор по стратегическому развитию Виктор Анатольевич Тупик, директор департамента науки, заведующий кафедрой микро- и наноэлектроники, директор Инжинирингового центра микротехнологии и диагностики Виктор Викторович Лучинин.

В составе делегации из Японии были генеральный директор ООО «Токио Боэки (РУС)» Такигава Кеиши (Takigawa Keiji), ведущий разработчик Minimal Fab Национального института передовых технологий Хара Широ (Hara Shiro), исполнительный директор PMT Cо Мияке Кейджи (Miyake Kenji), президент Litho Tech Japan Co Минами Йоичи (Minami Yoichi), менеджер по продажам Токио Боэки Машинери ЛТД Суга Кейсуке (Suga Keisuke) и менеджер по продажам ООО «Токио Боэки (РУС)» Виталий Тиньков.

Бессрочный меморандум СПбГЭТУ «ЛЭТИ» и ООО «Токио Боэки (РУС)» предполагает реализацию научно-исследовательских, образовательных и иных совместных проектов. В рамках этих договоренностей японская компания планирует проводить консультационную работу по подбору, внедрению и использованию современных японских технологий полупроводниковых минифабрик Minimal Fab и другого сопутствующего аналитического оборудования для университета; предпринимать действия, направленные на повышение уровня оснащения университета необходимой технологией Minimal FAB, которая ориентирована на производство небольших партий электронных компонентов на пластинах диаметром 0,5 дюйма.

Minimal Fab имеет значительное количество преимуществ, таких как более низкая стоимость по сравнению с традиционными фабриками, сокращение времени разработки новых изделий, низкие эксплуатационные расходы и другое. Летом 2017 года делегация представителей японских компаний ООО «Токио Боэки», Litho Tech Japan и Yokogawa приезжала представить российским ученым новую японскую разработку в области микроэлектроники.

«Мы не только производим оборудование, но также занимаемся реальным бизнесом. Хотелось бы воспользоваться шансом укрепить наше сотрудничество с ЛЭТИ, сотрудничество между Россией и Японией».

Генеральный директор ООО «Токио Боэки (РУС)» Такигава Кеиши (Takigawa Keiji)

Директор департамента науки Виктор Викторович Лучинин отметил, что ЛЭТИ, в первую очередь, ориентируется на нетрадиционные материалы.

«Мы абсолютно доминируем по технологиям, связанным с производством карбида кремния. Второе направление – это вопросы, связанные с гибкой печатной электроникой. Мы создали цифровой завод, который используется для производства. И мы имеем большой опыт с точки зрения интеграции технического оборудования. Третье – вопросы, связанные с производством синтетических кристаллов. Мы очень надеемся, что ту технологию, которую мы разработали на алмазе, мы сможем вместе реализовать на вашем оборудовании. И выйдем на российский рынок, тем более, установки по выращиванию карбида кремния мы поставляем в Японию, Китай, Тайвань».

Директор департамента науки СПбГЭТУ «ЛЭТИ» Виктор Викторович Лучинин

Ранее, весной 2018 года, директор департамента науки Виктор Викторович Лучинин посетил в Токио фирму Yokogawa Electric Corporation – партнера ООО «Токио Боэки», производителя уникального малогабаритного модульного оборудования, адаптируемого к производству микроприборов на алмазе.

Виктор Викторович Лучинин напомнил гостям о деятельности вуза в области микроэлектроники, в частности, о разработке технологии нанесения полупроводниковых пленок алмазов и создании прототипов приборов для силовой электроники, которая осуществлялась совместно с американским ученым – авторитетом в области физико-химического анализа поверхности алмаза Джеймсом Батлером и завершилась созданием полевого транзистора на основе алмаза. Также Виктор Викторович упомянул о знаменитом «методе ЛЭТИ», разработанном профессором ЛЭТИ Юрием Михайловичем Таировым еще в 1978 году – методе выращивания объемных кристаллов полупроводникового карбида кремния различных политипных модификаций, широко используемом для промышленного производства слитков карбида кремния ведущими фирмами мира.

«В первую очередь, мы заинтересованы в том, чтобы все, что мы делаем, носило креативный характер, традиционные технологии нас не интересуют». 

Директор департамента науки СПбГЭТУ «ЛЭТИ»Виктор Викторович Лучинин

В рамках встречи коллеги из Японии также посетили предприятие ООО «Новые алмазные технологии» (г. Сестрорецк) – мирового лидера по выращиванию крупных синтетических алмазов, где можно увидеть специализированную технологическую линию по огранке ювелирных алмазов. ЛЭТИ является непосредственным участником создания этих инновационных технологий, работая в кооперации с ООО «Новые алмазные технологии», а также НИИ прикладной физики РАН и АО НПП «Исток».

Стороны продолжили обсуждение возможных проектов на основе новой концепции полупроводникового производства. Подписанный меморандум стал первым шагом ЛЭТИ и ООО «Токио Боэки (РУС)» к распространению подобных минифабрик в России.