Кафедра микро- и наноэлектроники основана в 1946 г. как кафедра электротехнических материалов по инициативе засл. деят. науки и техники РФ проф. Н.П. Богородицкого, выдающегося ученого, организатора высшего образования в области твердотельной электроники в СССР.
В 1951 г. кафедра была преобразована в кафедру диэлектриков и полупроводников (ДП). С 1995 г. – кафедра микроэлектроники. С 2011 г. – кафедра микро- и наноэлектроники.
Профессорско-преподавательский состав кафедры с момента ее образования последовательно возглавляли засл. деятели науки и техники РФ профессора Н. П. Богородицкий (с 1946 по 1967 г.), В. В. Пасынков (с 1967 по 1983 г.), Ю. М. Таиров (с 1984 по 2009 г.).
С 2009 г. кафедрой руководит д.т.н. профессор Лучинин Виктор Викторович.
На кафедре работают 39 высококвалифицированных преподавателей, из которых: 11 - доктора наук, 25 - кандидаты наук, и 7 старших научных сотрудников.
Преподавателями кафедры написаны учебники и учебные пособия по общенаучным и специальным дисциплинам, по которым ведется подготовка специалистов во всех вузах страны. Многие учебники переведены на иностранные языки. Так, учебник «Электротехнические материалы (авторы Н. П. Богородицкий, В.В. Пасынков, Б.М. Тареев) выдержал 7 отечественных и 9 зарубежных изданий, «Материалы электронной техники» (авторы Н. П. Богородицкий, В. В. Пасынков) – 3 отечественных и 1 зарубежное издания, «Введение в физическую химию и кристаллохимию полупроводников» (автор Б.Ф. Ормонт) – 2 отечественных и 1 зарубежное, «Полупроводниковые приборы» (авторы В.В. Пасынков, Л.К. Чиркин, А. Д. Шинков) – 7 изданий.
Ежегодно кафедра проводит молодежные научные школы по самой актуальной проблематике, на которых кроме профессоров с научными докладами по результатам своих исследований выступают аспиранты, магистранты и студенты кафедры.
За 65 лет существования кафедра подготовила свыше 5 тысяч специалистов, из которых более 500 защитили докторские и кандидатские диссертации. Наряду с отечественными специалистами кафедра подготовила свыше 500 инженеров, кандидатов и докторов наук для зарубежных стран, таких как Китай, Германия, Куба, Вьетнам, Болгария, Польша и др. В том числе для Германии – 158, Болгарии – 138, Польши – 84.
